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Keithley 4200A-SCS 参数分析仪

使用 4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪)加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是业内性能领先电学特性参数分析仪,提供同步电流电压曲线测试 (I-V曲线测试)、电容-电压曲线测试 (C-V曲线测试) 和超快脉冲 I-V曲线测量。

使用4200A-SCS 参数分析仪进行1/f 电流噪声测量

4200A-SCS 参数分析仪优化低电流测量

应用文章:如何用半导体参数分析仪进行斜坡法准静态C-V测量

直播回放:深度解析IV/CV参数测试难题

直播回放:如何优化微弱电流测试

直播回放:1/f噪声测试方案详解

在您的 PC 上免费试用。

Product-series_4200-promo-options

直流电流-电压
(I-V) 范围

10 aA - 1A
0.2 µV - 210 V

电容-电压
(C-V) 范围

1 kHz - 10 MHz
± 30V 直流偏置

脉冲 I-V
范围

±40 V (80 V p-p),±800 mA
200 MSa/s,5 ns 采样率

 

Keithley 4200A-SCS 参数分析仪
Analysis function of semiconductor parameter analyzer

参数查看,快速清晰。

推进大胆发现从未如此容易。4200A-SCS 参数分析仪从设置到运行检定测试的时间减少高达 50%,从而实现无与伦比的测量和分析能力。此外,嵌入式测量专业知识提供无与伦比的测试指导,并让您对最终结果充满信息。

特点

  • 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件
  • 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试
  • 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数

准确的 C-V 表征

使用吉时利最新的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到吉时利行业领先的 CVU 架构中,4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。

特点

  • 同类产品中一款能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表
  • 1 kHz 频率,分辨率从1 kHz 到 10 MHz
  • 测量电容、电导和导纳
  • 使用 4200A-CVIV 多路开关最多可测量四个通道

使用 4215-CVU 进行 Femtofarad (1e-15F) 电容测量

4200A SCS Front Femtofarad

测量、 切换、 重复。

4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换,无需重新布线或抬起探头端部。 与竞争产品不同,四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看,可快速完成测试设置,并在出现意想不到的结果时轻松排除故障。

特点

  • 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
  • 用户可配置低电流功能
  • 个性化输出通道名称
  • 查看实时测试状态

稳定的低电流测量,适用于 I-V 检定

使用 4201-SMU 和 4211-SMU 模块,您可以在高电容系统中实现稳定的低电流测量。4200A-SCS 有四种型号的源测量单位 (SMU) 可供选择,可通过定制满足您所有的 I-V 测量需求。通过提供现场可安装单元和可选的预放大器模块,Keithley 可确保您获得准确的低电流测量,而停机时间很少甚至没有。

特点

  • 不必将仪器送回工厂即可增加 SMU
  • 进行 飞安测量
  • 多达 9 个 SMU 通道
  • 针对长电缆或大卡盘进行了优化
半導体パラメータアナライザは解析用プローバと温度コントローラをサポート

带分析探测器和低温控制器的集成解决方案

4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器,包括 MPI、Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。

特点

  • “点击”测试定序
  • “手动”探测器模式测试探测器功能
  • 假探测器模式无需移除命令即可实现调试

降低成本并保护您的投资

吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。 只需点击一下或拨打一个电话即可获得维修服务,在此过程中,无需报价或填写采购单,也不会有审批延误。

了解详情

 

半導体パラメータアナライザでコスト削減
产品技术资料 型号 描述 价格
查看产品技术资料 4200A-SCS-PKA
高分辨率 IV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
索取报价
查看产品技术资料 4200A-SCS-PKB
高分辨率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4200-PA:一个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
索取报价
查看产品技术资料 4200A-SCS-PKC
高功率 IV 和 CV 套件
4200A-SCS:参数分析仪主机
4201-SMU:两个用于高容量设置的中功率 SMU
4211-SMU:两个用于高容量设置的高功率 SMU
4200-PA:两个预放大器
4215-CVU:一个高分辨率多频 C-V 单元
8101-PIV:一个带有采样装置的测试夹具
索取报价
查看产品技术资料 4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
用于使用尖端硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括:
  • 1 个 4225-PMU 超快 I-V 模块
  • 2 个 4225-RPM 远程预放大器/开关模块
  • 自动化检定套件 (ACS) 软件
  • 超快 BTI 测试项目模块
  • 布线
索取报价

生物传感器检定

生物传感器或 bioFET 将对分析物的生物响应转换为电信号。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 软件包括一个用于测试 bioFET 的项目。以此为起点检定生物传感器的传输和输出特性,并从这里展开工作。

下载生物传感器应用指南以开始使用
4200A-SCS
4210CVU-2

飞法电容测量

使用 4215-CVU 模块测量亚毫微微法拉电容。通过驱动 1 V AC,在测量 1 fF 电容器时,4215-CVU 的噪声水平可低至 6 attofarad。这只是 Clarius 软件随附的用于测量电容和提取重要参数的数十种应用程序之一。

使用 4215-CVU 进行 Femtofarad (1e-15F) 电容测量

进行最佳电容和交流阻抗测量

特点

  • 内置飞法测量功能
  • 从 1kHz 到 10MHz 的 10,000 个频率步进
  • 使用用户库定制任何设备的任何测试

半导体和 NVM 可靠性

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为最新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试,从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

评估 MOSFET 设备的热载波感应劣化

用于非易失内存测试的单纳秒脉冲解决方案

非易失内存技术脉冲 I-V 检定

Semiconductor and NVM Reliability
C-V Measurement for High Impedance Applications

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用,同时可与 4210-CVU 结合使用,执行更高频率测量。

4200A-SCS 参数分析仪可在高阻抗设备上执行极低频电容-电压测量

简化 MOSFET/MOSCAP 设备检定的提示和技术

特点

  • .01 ~ 10 Hz 频率范围,1 pF ~ 10 nF 灵敏度
  • 3½ 位典型分辨率,最小典型值 10 fF

使用长电缆或电容式夹具时进行测试

当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时,请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。

使用 4201-SMU 和 4211-SMU,通过高测试连接电容进行稳定的低电流测量

Testing when using Long Cables or Capacitive Fixtures
Resistivity of Materials

材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算,节省您宝贵的研究时间。 10aA 的最大电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。

4200A-SCS 参数分析仪和四点同轴探头可用于执行半导体材料电阻率测量

4200A-SCS 参数分析仪可用于执行范德堡和霍尔电压测量

MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器,用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮,即可运行所有这些测试。

4200A-SCS 参数分析仪可用于执行 MOS 电容 C‑V 检定

MOSFET Characterization
产品技术资料 模块 描述 配置和报价
查看产品技术资料 4200-SMU 中功率源测量单位 配置和报价
查看产品技术资料 4200-BTI-A 超快速 BTI 包 配置和报价
查看产品技术资料 4200-PA 远程预放大器模块 配置和报价
查看产品技术资料 4200A-CVIV IV CV测试切换开关 配置和报价
查看产品技术资料 4201-SMU 中功率源测量单元 配置和报价
查看产品技术资料 4210-SMU 大功率源测量单元 配置和报价
查看产品技术资料 4211-SMU 高功率源测量单元 配置和报价
查看产品技术资料 4215-CVU 电容电压CV测量单元 配置和报价
查看产品技术资料 4220-PGU 高电压脉冲发生器单元 配置和报价
查看产品技术资料 4225-RPM 远程预放大器/开关模块 配置和报价
查看产品技术资料 4225-PMU 超快速脉冲IV测量单元 配置和报价

从实验室到晶圆厂的自动化控制

Keithley 自动化检定套件 (ACS) 可完全控制您的设备。无论您是需要控制工作台上的几台仪器,还是需要自动化整个测试机架以进行生产,ACS 均能为设备检定、参数测试、可靠性测试和简单的功能测试提供灵活的交互式环境。

  • 执行简单的一次性测试或构建复杂的项目树
  • 在 ACS 中使用 Python 编写代码以获得无限灵活性和控制力
  • 手动或自动晶圆探测器控制
  • 数据管理和统计分析功能

开始自动化

Clarius+ 分析套件

通过 Clarius+ 软件套件,您可以轻松获得材料和设备的检定洞察。Clarius 在 4200A-SCS 上本地运行,可规划、配置和分析测试结果。此外,还可将 Clarius 安装在任何 Windows 10 PC 上,以便在实验室中运行测试之前规划和配置测试,或在收集数据后分析数据。

  • 200 多项预先配置的测试,可加速实验室运转
  • 由 Keithley 工程师精心收集的真实数据
  • 内置上下文帮助和应用程序指南
  • 提供监控模式,可实时查看结果

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